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真空実験室からのメッセージ"

(有)真空実験室は、極高真空を簡単に発生させ、確実に計測するための真空技術の開発を行い、先端研究をサポートします。

真空実験室の基本技術 真空実験室の基本技術

(有)真空実験室は「極高真空の簡単発生・確実計測の技術開発に挑戦し続けること」をモットーに2002年の会社創立以来、真空事業を続けてまいりました。 
真空を発生させ利用するためには、(1)真空容器、(2)真空ポンプ、(3)真空計の3つの要素技術が必要です。弊社は3つの要素のそれぞれに、独特の製品を開発し世に送り出してきました。例えば(1)としては、超低ガス放出の銅合金製チャンバーとフランジ、(2)はピル状NEGを使ったマジックNEGポンプとNEGサポートポンプ、(3)は超低ガス放出RGAや極高真空計3BGなどです。
これらの弊社製品はすべて0.2%BeCu合金製(日米特許取得)です。0.2%BeCu合金は実用金属材料としては最もガス放出率の小さい金属で、熱物性(熱伝導率と輻射率)はステンレス鋼と正反対の性質をもちますが、膨張係数は完全に一致しております。この性質により0.2%BeCu合金製品はステンレス鋼製の真空部品と銅ガスケットでジョイントして容易に使用することができます。
0.2%BeCu合金の誕生は、新しい機能の装置設計を可能とし、製品は内外の研究機関・大学等に採用されてきました。
これらの製品開発の経験を経て、このたび弊社は次の二つの新しいポンプを生み出すことに成功しました。二つとも、ステンレス鋼・銅合金の両材料に適応可能な新しい極高真空向け製品です。

さあ、極高真空・超高真空の発生はAG-NEGポンプで行う時代です!

 

アトマイズグラニューN EGポンプ ⇒ 通称:AG -NEG(エイジーネグ)

真球状のアトマイズグラニューNEGを粉末のままファインメッシュのカゴに⼊れて使う新しい考えのゲッターポンプです。NEG粉末は固化して使うという従来の概念を破った製品なので製造⼯程が⼀段階減り、⼤幅なコストダウンが実現しました。アトマイズグラニューNEGのレアな表⾯を圧縮固化で潰さないので、排気能⼒は増⼤し、NEGの最⼤の⽋点であったダスト⾶散も起こらなくなりました。アトマイズグラニューNEGの交換は簡単なため、ランニングコストも低く抑えられます。

 

NEGサポートポンプ逆マグネトロン型冷陰極電離真空計がイオンポンプとして稼働するNEGサポートポンプ 
10-10Pa台の真空圧を測定できる冷陰極真空計の登場です。ゲージでありながら、NEGの排気できないレアガスとメタンを積極的に排気し、NEGによる極高真空の発生をサポートします。極高真空領域でも確実にスタートさせることの出来る機能も付いております。