マジックNEGポンプ Magical NEG Pump
マジックNEGポンプとは
マジックNEGポンプの構造
0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス(水素)放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。
マジックNEGポンプの最大の魅力は、 超低価格のCF70タイプ:18万円, 114タイプ:29万円をご提供可能なことです。 消耗品としてご購入いただける金額ですので、 NEGが初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。
114タイプ排気速度150L/sec
070タイプ排気速度60L/sec
交換カートリッジ(070用)
マジックNEGポンプの主なスペック
形式 MNEG | CF70 | CF114 |
水素排気速度(L/s) | 50~70 | 140~180 |
窒素排気速度(L/s) | 20~25 | 50~60 |
NEG材料 | ZrVFe | ZrVFe |
Φ10h3ピル数 | 40 | 105 |
活性化電力(V×A) | 2.5×9 | 4.5×11 |
全重量(g) | 650 | 2000 |
全長(mm) | 70+52 | 90+52 |
CF114タイプの排気速度60L/sec