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マジックNEGポンプ Magical NEG Pump

低輻射、高熱伝導性の0.2%BeCuのケーシングで自己ガス放出を大幅に低減し、 XHV発生が容易です。

マジックNEGポンプとは

   

    マジックNEGポンプの構造

0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス(水素)放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。

マジックNEGポンプの最大の魅力は、 超低価格のCF70タイプ:18万円, 114タイプ:29万円をご提供可能なことです。 消耗品としてご購入いただける金額ですので、 NEGが初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。

114タイプ排気速度150L/sec

070タイプ排気速度60L/sec

交換カートリッジ(070用)

マジックNEGポンプの主なスペック

形式 MNEG CF70 CF114
水素排気速度(L/s) 50~70 140~180
窒素排気速度(L/s) 20~25 50~60
NEG材料 ZrVFe ZrVFe
Φ10h3ピル数 40 105
活性化電力(V×A) 2.5×9 4.5×11
全重量(g) 650 2000
全長(mm) 70+52 90+52

     CF114タイプの排気速度60L/sec