伝導加熱式 NEG ポンプ
CHNEG
Conduction Heating Non-Evaporable Getter Pump
弊社で独自に開発した耐熱性アルミニウム(9%)銅合金製真空容器の鍋(パン)底に、
ピル状NEGを並べた非常に簡単なポンプです。
アルミニウム銅合金の熱伝導率はステンレスより４倍高く、水素ガス放出はステンレスより小さいので、
パンの底板に配置したフラットヒーターから、NEGを加熱することが可能です。
ヒーターが真空中に無い分NEGポンプの自己ガス放出が小さく、
簡単にXHVを発生させられるポンプとしてご利用できます。
代表的な製品(CHNEG203)の仕様
| 名称 |
伝導加熱活性式NEGポンプ |
NEGの形状 |
φ10mm×h3mm Pill-192個 |
| 形式 |
CHNEG203 Pan |
排気速度(H2) |
1.3 ~ 2.0L/s/Pill |
| 排気速度 |
400L/s(H2), 160L/s(N2) |
取付フランジ |
CF203 |
| ケーシング |
表面改質Al(9%)Cu合金 |
ガスケット |
無酸素銅 |
| ヒータ |
人工マイカ絶縁プリントヒータ |
ポンプ高さ |
74mm（全ポンプシリーズ） |
| 活性化条件 |
450℃ 30～50min. |
加熱電力 |
200V,4A(203) |
